产品分类

晶圆片托架落座传感器

特点

通过与导槽并用的方式设定落座位置

与晶圆片托架的接触面使用了耐化学药品性强的氟素树脂

独有的光学系统几乎可稳定检测所有晶圆片托架

采用抗干扰光的变调光方式

使用环保导线(无滑石粉)

种类

本体
形状
形状检测方式
检测距离
动作模式
导线长
型号





反射型





0~3mm 
(红外光)





有晶圆片托架时ON





2m


EE-SPY801 2M


EE-SPY802 2M

附件(另售)
名称
型号
导槽
EE9-C01
EE9-C02
注: 不具备传感器的功能。